国产a三级久久精品,YYYY11111少妇无码影院,无遮掩60分钟从头啪到尾,一区二区三区在线 | 欧

歡迎來(lái)到森和深圳氣體公司,深圳工業(yè)氣體!

深圳高純氣體的重要標準度

一、深圳高純氣體的重要標度。

通常,高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛(純度),微量水份(干燥度)污染物粒子的婁量保持在最低限度,其粒度也應是最小的(潔凈度)。因此,對于高純氣體,純度、干燥度、潔凈是三項重要的標度。
特別是近10年來(lái),隨著(zhù)更復雜、更密集的大規模和超大規模集成電路的生產(chǎn),對高純氣體潔凈度的要求,其重要程度已不亞于對純度和干燥度有嚴格要求的用氣工藝,無(wú)一不對其中的粒子提出限制。

二、控制粒子污染的重要性

對于控制粒子污染的重要性,在集成電路生產(chǎn)、實(shí)驗部門(mén)已經(jīng)有所認識,同時(shí),實(shí)踐已向人們表明,氣體的粒子可造成微日子產(chǎn)品的短路或斷路,改變半導體材料的電性能,也可以破壞其晶格結構,影響印刷板的復制等等。這些破壞性因素中的任何一個(gè),無(wú)可導致集成電路失效的嚴重后果。通常,粒子的粒徑小到1微米的十分之幾,便可造成斷路,而更小的鑿子,便函可使線(xiàn)路工作降級。所以,防止粒子污染,在微電子技術(shù)中是十分嚴格的。迄今,在純凈氣體應用技術(shù)中,對于大流量高純氣體輸送系統,美國已有輸送含0。1μm以上粒子,每立方英尺氣體中不超過(guò)10個(gè)的能力;它還為幾個(gè)系統輸送含有0.02μm以上粒子的氣體,其粒子數每立方英尺不超過(guò)10個(gè)。

三、潔凈度控制的標準或規定

由于高純度體的使用地點(diǎn)、性質(zhì)、關(guān)況(如溫度、壓力等)都不完全一致,所以,如何確定高純氣體的“三度”(純度、干燥度、潔凈度),還沒(méi)有一個(gè)嚴格而明確的概念。
對于純度和干燥度的控制,我國CBJ73—84《潔凈廠(chǎng)房設計規范》中指出,“高純氣體系指純度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm氣體。

日本把微電子生產(chǎn)中所采用的氣體,按其不同的品位,具體分為下列幾個(gè)不同的檔次。

超高純氣體

氣體中雜質(zhì)總含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。

高純氣體

氣體中雜質(zhì)總含量控制在5%ppm以下,水份含量控制在3 ppm以?xún)?

611cc24b63b57.jpg